轻型扩散组件
轻型加热组件由细规格电阻丝制成，经过成型呈现正弦波形或弹簧状线圈。“轻型”指的是在组件结构中使用较细直径的电阻丝。这种结构对于扩散工艺的精确控制和响应时间至关重要。
行业
产品信息
应用
低压化学气相沉积（LPCVD）及低温应用：用于需要对低温进行精确控制的场合。应用包括 LPCVD，如多晶硅、氮化物和低温氧化应用；常压工艺，如氢气退火和聚酰亚胺固化。
快速温度响应应用：适用于需要快速温度变化的工艺。
快速冷却应用：在需要快速冷却的应用中十分高效。
典型的轻型加热器包括：
- 带有嵌入式波形导线或弹簧线圈的半壳陶瓷模具。
- 陶瓷模具背面覆有干燥毯状纤维，以实现计划内的绝缘性能和均衡的压缩效果。
- 经模具加工的真空成型陶瓷前室端绝缘体。
- 多种热电偶定位夹具。
- 内部母线元件配有陶瓷引线锁。外部母线元件配有电源块。
产品特性
- 中等规格和细规格电阻丝通过精密设备冷加工成正弦波形或弹簧卷绕形态。
- 25毫米和50毫米典型正弦波弯曲形状。
- 不锈钢（SST）或铝制外壳。
- 轻质设计，适用于低温环境并实现更快的热响应。
- 白色或黑色表面涂层。
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