Fibrothal®扩散炉体

在半导体制造中，线性温度均匀性对工艺结果至关重要。扩散工艺的精度、响应速度和控制能力往往依赖于热源。我们的 Fibrothal® 轻型和重型扩散加热组件可根据具体需求进行定制。轻型组件在较低处理温度下提供关键的温度控制和响应精度，而重型组件则为多样化和高温应用提供稳定可靠的加热性能。Fibrothal® 扩散加热组件通过在水平和垂直炉中结合轻型与重型元件，提升了半导体制造过程的性能与可靠性。