扩散炉

Kanthal 产品系列包括生产太阳能和半导体应用中所使用晶体硅片的扩散炉体。

Kanthal 扩散炉体涵盖了广泛的工艺,比如:

  • 快速冷却应用,比如聚酰亚胺固化
  • 大气氧化
  • LPCVD 氮化物

相关产品

Kanthal产品和服务系列

Fibrothal® diffusion cassettes
Fibrothal® 加热模块
耐高温电阻材料